特許
J-GLOBAL ID:200903049822796278

冷却支持装置とその方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-082491
公開番号(公開出願番号):特開平8-285394
出願日: 1995年04月07日
公開日(公表日): 1996年11月01日
要約:
【要約】【目的】 冷却支持装置とその方法に関し、ピストン-シリンダ往復型のガス膨張式の冷凍手段で被冷却物に対して振動などが加わらない支持を目的とする。【構成】 冷媒7が循環されるコールドヘッド1と、前記コールドヘッド1に冷熱伝導自在に密着する1段目コールドステージ2aと、該1段目コールドステージ2aに冷熱伝導自在に密着する2段目コールドステージ2bとを含み、かつ該2段目コールドステージ2b同士が対向している冷熱伝達手段2と、前記1段目コールドステージ2a間に覆設されて真空雰囲気にする真空筒体3と、前記2段目コールドステージ2b間に覆設されて熱輻射を遮蔽する熱輻射シールド4とから構成さており、前記2段目コールドステージが、対向するそれぞれの表面がInシートを介して被冷却物を挟持するものであるように構成する。
請求項(抜粋):
対をなして対向するコールドヘッドと冷熱伝達手段と、真空筒体と、熱輻射シールドとを有し、前記コールドヘッドは、冷媒が循環されて冷却されるものであり、前記冷熱伝達手段は、前記コールドヘッドに冷熱伝導自在に密着する1段目コールドステージと、該1段目コールドステージに冷熱伝導自在に密着する2段目コールドステージとを含み、かつ該2段目コールドステージ同士が対向しているものであり、前記真空筒体は、前記1段目コールドステージ間に覆設されて真空雰囲気にするものであり、前記熱輻射シールドは、前記2段目コールドステージ間に覆設されて熱輻射を遮蔽するものであり、前記2段目コールドステージは、対向するそれぞれの表面がInシートを介して被冷却物を挟持するものであることを特徴とする冷却支持装置。
FI (2件):
F25B 9/00 H ,  F25B 9/00 F

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