特許
J-GLOBAL ID：200903049826051994
薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-312972
公開番号（公開出願番号）：特開平8-171708
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】良好な耐磨耗性と耐電圧特性のほか、磁性材料の腐食防止性能にも優れた薄膜磁気ヘッドを提供すること。【構成】保護膜の表面領域を無水素非晶質炭素(水素含有率が5原子%以下)で構成し、本体領域を含水素非晶質炭素(水素含有率が6〜50原子%)で構成する。保護膜は、無水素非晶質炭素からなる表面領域層と含水素非晶質炭素からなる本体領域層の2層構造で構成する。保護膜は、そのほか磁気ヘッドスライダの接触面から表面に向かって水素含有率が減少する傾斜組成の非晶質炭素膜で構成してもよい。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッドスライダの空気支持面に含水素非晶質炭素からなる保護膜を形成してなる磁気ヘッドにおいて、当該保護膜の表面領域は、無水素非晶質炭素(水素含有率が5原子%以下である非晶質炭素をいう。以下同じ)で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (3件)：
G11B 5/31
, G11B 5/60
, G11B 21/21 101
