特許
J-GLOBAL ID：200903049826218325
格子パターン投影形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-408934
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172459
出願日： 2003年12月08日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【目的】被測定体上に格子パターンを投影するための基準格子をバイナリ格子で構成するとともに、基準格子の不透光領域と透光領域との線幅比を可変に構成することによって、投影光の波長に対して半透過性を有するような被測定体を測定する場合においても、縞コントラストを調整して高い測定精度を得ることができるようにする。【解決手段】投影格子40は2枚の要素格子41,43が、互いの不透光格子線45,47が重ね合わされてなる。2枚の要素格子41,43は、1軸移動ステージ49によって、格子線45,47と直角な方向に相対的に横ずらしできるように構成されている。この横ずらしにより投影格子40は、不透光領域Bと透光領域Wとの線幅比を変えることが可能になっている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
互いに隣接する不透光格子線および透光格子線を一対として、該一対の双方がそれぞれ全長に亘って少なくとも一方向においては略一定の線幅を持つようにして、前記方向に隙間無く平行に複数対並べてなる第1の基準格子の格子パターンを被測定体に投影し、該格子パターンが該被測定体の形状に応じた変形を受けることにより生じる縞パターンに基づき、前記被測定体の形状を測定する格子パターン投影形状測定装置において、
前記第1の基準格子は、前記不透光格子線と前記透光格子線との間で投影光の透過率が略2値的に変化するバイナリ格子であり、
前記一対のピッチは不変で該ピッチを構成する前記不透光格子線と前記透光格子線の前記線幅の割合が前記方向において可変に構成されていることを特徴とする格子パターン投影形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2F065AA51
, 2F065CC16
, 2F065DD09
, 2F065FF06
, 2F065HH07
, 2F065LL41
, 2F065MM14
, 2F065QQ23
, 2F065QQ31
, 2F065SS02
