パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：廣田浩一 , 流良広 , 松田奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033541
公開番号（公開出願番号）：特開2006-220863
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：

【課題】保存中の着色及び感度低下が抑制され、かつ露光時の良好な発色性により露光領域の可視像化に優れ、感度安定性に優れたパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】支持体上に少なくとも感光層を有し、未露光の前記感光層の600nmの光に対する吸光度が、60°Cの温度条件下で72時間処理した後の吸光度をB、処理する前の吸光度をAとしたとき、B-A≦0.1の関係を満たすことを特徴とするパターン形成材料、該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。前記感光層はバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び4位に置換アミノ基を有するトリアリールメタン色素で、メタンの炭素原子に対しオルト位に少なくとも1つの置換基を有する発色剤化合物を含むことが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持体上に少なくとも感光層を有し、未露光の前記感光層の600nmの光に対する吸光度が、60°Cの温度条件下で72時間処理した後の吸光度をB、処理する前の吸光度をAとしたとき、B-A≦0.1の関係を満たすことを特徴とするパターン形成材料。

IPC (6件)：

G03F 7/004 , G03F 7/11 , G03F 7/20 , G03F 7/26 , H05K 3/00 , H05K 3/06

FI (8件)：

G03F7/004 507 , G03F7/004 512 , G03F7/11 503 , G03F7/20 505 , G03F7/26 501 , H05K3/00 F , H05K3/00 G , H05K3/06 H

Fターム (55件)：

2H025AA01 , 2H025AA11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BJ00 , 2H025CA00 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CC15 , 2H025DA11 , 2H025DA40 , 2H025FA17 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096CA05 , 2H096CA16 , 2H096EA02 , 2H096EA04 , 2H096EA23 , 2H096GA08 , 2H096KA02 , 2H096LA17 , 2H096LA30 , 2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097CA17 , 2H097FA02 , 4H056BA02 , 4H056BB01 , 4H056BC01 , 4H056BD01 , 4H056BF01 , 4H056BF22 , 4H056BF26 , 4H056BF28 , 4H056FA01 , 5E339AB02 , 5E339AD01 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE16 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD03

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭59-107344号公報
特開昭60-57340号公報
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-297430 出願人：三菱レイヨン株式会社

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