露光装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-009069
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203803
出願日： 1995年01月24日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】オプティカルインテグレータからの光を検出する検出系の配置上の制約を解消し、従来よりも格段に高い精度でオプティカルインテグレータからの光を検出し得る高性能な露光装置の提供にある。【構成】光束を供給する光源手段と、前記光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成する多光源形成手段と、前記多光源形成手段により形成される多数の光源からの光束を集光して所定のパターンが形成された原版を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを有し、前記原版のパターンを基板上に露光する露光装置において、前記多光源形成手段と前記コンデンサー光学系との間の光路中に前記多光源形成手段からの光束の一部を所定方向へ導く光分割手段を配置すると共に、前記光分割手段によって前記所定方向へ導かれた光束の一部を光電的に検出する光電検出手段とを配置し、更に前記光分割手段と前記光電検出手段との間の光路中に前記多光源形成手段により形成される多数の光源からの光束を拡散させる光拡散手段を配置した。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源手段と、前記光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成する多光源形成手段と、前記多光源形成手段により形成される多数の光源からの光束を集光して所定のパターンが形成された原版を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを有し、前記原版のパターンを基板上に露光する露光装置において、前記多光源形成手段と前記コンデンサー光学系との間の光路中に前記多光源形成手段からの光束の一部を所定方向へ導く光分割手段を配置すると共に、前記光分割手段によって前記所定方向へ導かれた光束の一部を光電的に検出する光電検出手段とを配置し、前記光分割手段と前記光電検出手段との間の光路中に前記多光源形成手段により形成される多数の光源からの光束を拡散させる光拡散手段を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 507 H , H01L 21/30 516 C , H01L 21/30 525 N

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