超音波洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-146755
公開番号（公開出願番号）：特開2006-324495
出願日： 2005年05月19日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：

【課題】ウェハの洗浄面全域に効果的に超音波を照射して洗浄効果を高めることができる超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄槽21には洗浄液が満たされている。外槽23の外側には伝播水で満たされた伝播用水槽23がある。水槽23の底壁外面には、超音波発振板31が備えられている。複数枚のウェハ1は、上下移動可能なウェハチャック12により保持された状態で、洗浄槽21の底部に配設されたリフター式ウェハガイド11に保持される。ここで、ウェハチャック12は、ウェハ1の上端が洗浄槽21の洗浄液の液面から露出しない高さの位置でウェハ1を保持している。この状態で超音波発振板31から超音波を発振すると、ウェハ1の下部とウェハガイド11の水平部分との距離が離れているので、ウェハガイド11の影になる部分41とウェハ1とが重なる領域を最小限に抑えることができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

洗浄液を収容し洗浄液に複数のウェハを浸漬することのできる洗浄槽と、洗浄槽内でウェハの一部分に接触してウェハを保持するウェハガイドと、ウェハの他の部分に接触してウェハを保持するウェハチャックと、洗浄液へ向けて超音波を発振する超音波発振部とを備え、さらに、超音波の発振中にウェハガイドに保持された状態でウェハをウェハチャックから一時的に離間させるとともにウェハチャックに保持された状態でウェハをウェハガイドから一時的に離間させるウェハ離間機構が設けられていることを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 , H01L 21/683 , H01L 21/677 , H01L 21/306

FI (5件)：

H01L21/304 642E , H01L21/304 648B , H01L21/68 N , H01L21/68 S , H01L21/306 J

Fターム (12件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031GA15 , 5F031HA24 , 5F031HA42 , 5F031HA45 , 5F031HA72 , 5F031HA73 , 5F031MA23 , 5F031PA30 , 5F043DD19 , 5F043EE35

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭61-112326号公報
実開平1-76036号公報

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