特許

J-GLOBAL ID：200903049847014150

走査形電子顕微鏡

発明者： 山口 直樹 ,  田中 隆一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122007
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319364
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】従来、走査形電子顕微鏡における試料ステージの微少振動による像障害は、試料ステージの振動抑制機構を設けることで解決してきたが、試料ステージの移動や試料交換毎に振動抑制機構の動作・非動作の切り替えを行う必要があり、操作が煩雑になる上、切り替え操作を怠ると装置を損傷する可能性があるため、安全装置等が必要となりコストアップとなった。【解決手段】振動抑制機構に、試料ステージと試料室壁に取り付けた固体部品が常に接触したまま、試料ステージの移動軸X,Y,Z,R,Tの5軸すべての移動を行うことができる機構を備えた。【効果】本発明は、走査形電子顕微鏡の高倍率観察時における操作性の向上及び、低コスト化に貢献できる。

請求項（抜粋）：

試料室壁に摺動可能に取り付けた固体部品を、試料ステージの一部に接触させることにより、試料ステージの微少振動を抑制するよう構成され、かつ固体部品と試料ステージが接触したまま、試料ステージの移動軸X,Y,Z,R,Tの5軸すべての移動が可能に構成したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G12B 5/00

FI (2件)：

H01J 37/20 D ,  G12B 5/00 T

Fターム (6件)：

2F078CA06 ,  2F078CA08 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03