特許
J-GLOBAL ID：200903049849999235
表面検査装置の検査範囲設定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352840
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180296
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 表面検査装置の検査範囲設定において、機械的故障を生じることなく、かつ被検査体の端部の検出精度を上げて検査範囲を設定することができる検査範囲設定方法を提供することを目的とする。【構成】 搬送される被検査体105に光線を照射し、該光線の反射方向に配置された受光センサ107の出力変化により被検査体105の表面欠陥を検出するとともに、被検査体105の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面検査装置外部に配置される撮像手段109により被検査体105を撮像して映像信号を得、該映像信号に基づいて前記検査範囲を設定するようにしたことを特徴とする表面検査装置の検査範囲設定方法。
請求項（抜粋）：
搬送される被検査体に光線を照射し、該光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化により前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被検査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面検査装置の検査範囲設定方法において、前記表面検査装置外部に配置される撮像手段により前記被検査体を撮像して映像信号を得、該映像信号に基づいて前記検査範囲を設定するようにしたことを特徴とする表面検査装置の検査範囲設定方法。
IPC (2件)：
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