特許

J-GLOBAL ID：200903049855025340

高精度ステージにおけるケーブルの負荷抵抗の補償

発明者： ダグラス.シー.ワトソン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-059392
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006688
出願日： 2003年03月06日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】高精度ステージが移動する間に加わるケーブル等からの外乱力の影響を少なくする。【解決手段】ワークピース104を運ぶ高精度ステージ102に対して可動のケーブルキャリア106を設け、ケーブルキャリアはステージに作用している複数のケーブル108、110の負荷抵抗を阻止するためにケーブルを運び、ケーブルの負荷抵抗をキャンセルするようにケーブルに力を加え、ステージとケーブルキャリアの位置をコントロールする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動ステージと、 前記ステージに対して可動であり、前記ステージに作用しているケーブルの負荷抵抗を阻止するために、少なくとも1つのケーブルを運ぶケーブルキャリアと、からなることを特徴とする位置決めシステム。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H01L21/027

FI (3件)：

H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A ,  H01L21/30 541L

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031LA18 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5F046CC18 ,  5F056EA14