特許

J-GLOBAL ID：200903049860355358

光半導体用窓ガラス

発明者： 乾 武志
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023850
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209145
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 高い表面品位を有し、所望する光透過特性を備えた光半導体用窓ガラスを提供すること。【解決手段】 本発明の光半導体用窓ガラス1は、薄板ガラスからなり、表面粗さのRa値が0.5nm以下であり、且つ該薄板ガラスの直径1.5mmの範囲を波長632.8nmのレーザー光が透過する際に生じる波面収差のRMS値が32nm以下であり、表面に反射防止膜2を有する。

請求項（抜粋）：

薄板ガラスからなり、表面粗さのRa値が0.5nm以下であり、且つ該薄板ガラスの直径1.5mmの範囲を波長632.8nmのレーザー光が透過する際に生じる波面収差のRMS値が32nm以下であることを特徴とする光半導体用窓ガラス。

IPC (3件)：

C03C 4/10 ,  H01L 23/02 ,  H01S 3/18

FI (3件)：

C03C 4/10 ,  H01L 23/02 F ,  H01S 3/18