特許
J-GLOBAL ID：200903049865454990
固体撮像素子及びその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305955
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132505
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】所望のレンズギャップを有するオンチップマイクロレンズを備えた固体撮像素子、及びかかる固体撮像素子の作製方法を提供する。【構成】オンチップマイクロレンズ30が下地材料層20表面に形成された固体撮像素子は、オンチップマイクロレンズ30が形成された領域の外側の下地材料層20の部分に、溝26が形成されていることを特徴とする。また、固体撮像素子の作製方法は、下地材料層表面に溝を形成する工程と、溝の部分を除く下地材料層表面に、オンチップマイクロレンズの材料であるレンズ材層を形成する工程と、レンズ材層を加熱処理して、オンチップマイクロレンズを形成する工程、から成る。
請求項（抜粋）：
オンチップマイクロレンズが下地材料層表面に形成された固体撮像素子であって、オンチップマイクロレンズが形成された領域の外側の下地材料層の部分に、溝が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
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