X線ミラー用マニピュレータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067135
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281798
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】大気中で使用できるX線用のミラーを容易に、かつ高精度で、しかもドリフトのないミラーマニピュレータを提案する。【構成】大気中で光学用に使われる2軸以上の直進ステージ機構4,5と2方向のあおり機構7を組み合わせ、真空フランジ2に接続された真空フレキシブルチューブ9と接続された、X線ミラーと一体としたミラーマウントチューブ11,12を直接アライメントできるように構成した。

請求項（抜粋）：

X線エネルギーが5keV以上であるX線を操作するX線ミラー用マニピュレータにおいて、直交する2軸以上の直進ステージ機構と直交した2方向あおり機構からなるミラーマウントチューブのアライメント部と、真空フレキシブルチューブ、そしてそれぞれを固定するフランジ、大気と真空とを分離するX線窓、X線用ミラーと一体をなしているミラーマウントチューブから構成され、アライメント部により、X線窓を通して真空フレキシブルチューブに接続されているミラーマウントチューブをフランジに対して、大気中で操作可能としたことを特徴とするX線ミラー用マニピュレータ。

前のページに戻る