特許
J-GLOBAL ID：200903049868666794
半導体装置の検査方法及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-322815
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176575
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 半導体素子の不良がウェハ上の任意な場所に存在しても、その不良品をほぼ見逃すことなく検査時間を短縮する。【構成】 ステップ1(S1)でカウント値が「5」にセットされ、S2で通常プロービングテストが行われる。通常プロービングテストはチップ1個につき約30の検査項目が実施される。通常プロービングテストが終了すると、S3で当該チップが良品であるか否かが判定され、良品である場合にはカウント値から1引かれる。S1〜S5の繰り返し処理により連続5個のチップが良品となると、S6にてカウント値に「20」がセットされる。S7で次のチップは簡易プロービングテストされる。簡易プロービングテストはチップ1個につき約10〜15程度の検査項目が実施される。S7〜S9を繰り返し20個のチップが簡易プロービングテストし終わると、S1へ移行し以上の操作が繰り返し行われる。
請求項（抜粋）：
半導体装置(4)上に形成された多数の半導体素子(16)に測定用探針(3)を順次に接触させ、各半導体素子(16)毎に複数の検査項目を実施して各半導体素子(16)が所定の規格値を満たすか否かを判定して多数の半導体素子(16)を良品と不良品とに区別する半導体装置の検査方法において、先ず最初に半導体素子(16)について予め設定した全ての検査項目を実施する通常検査を順次に行い、該通常検査において規格値を満たす良品と判定された半導体素子(16)が連続して予め設定した所定個数に達すると、次の半導体素子(16)からは全検査項目のうち一部の検査項目のみを実施する簡易検査とし、簡易検査された半導体素子(16)が所定個数に達すると再び通常検査に戻り、以上の操作を繰り返し行うことを特徴とする半導体装置の検査方法。
IPC (2件)：
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