特許
J-GLOBAL ID：200903049877416571
エッチング終点検出装置および検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060725
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256237
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 エッチングされる被処理基板の表面にレーザ光を照射し、そのエッチング面での散乱光を検出してエッチング終点を検出する手法では、レーザ光の光路長が長くなるとエッチング時に発生するプラズマによる光散乱の影響が生じて高精度のエッチング終点の検出が困難になる。【解決手段】 レーザ発振器21で発生されたレーザ光を照射用光ファイバ23により反応容器11内の被処理基板Wのエッチング面の近傍にまで導いてその照射を行う。エッチング面での散乱光は、同様に被処理基板Wに近接配置された受光用光ファイバ24により受光し、散乱光検出器22により検出する。被処理基板Wに対するレーザ光の光路長(反応容器11内での光路長)が短くできるため、エッチング時に発生するプラズマによる光散乱の影響が抑制でき、S/N比を改善し、高精度のエッチング終点の検出が困難になる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、このレーザ発振器で発生されたレーザ光を反応容器内でエッチング処理される被処理基板のエッチング面にまで導く照射用光ファイバと、前記被処理基板のエッチング面で散乱された前記レーザ光を前記反応容器外にまで導く受光用光ファイバと、前記受光用光ファイバで導出された前記レーザ光の光強度を検出する散乱光検出器とを備えることを特徴とするエッチング終点検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
