特許

J-GLOBAL ID：200903049887064932

検査用マスクホルダー

発明者： 佐々木 裕信 ,  大久保 欽司 ,  岡野 逹広
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-204760
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052552
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 マスクの両面観察が可能で外的衝撃に耐えることができる検査用マスクホルダーを提供することである。【解決手段】 本発明の検査用マスクホルダーは支持体10とふた20とからなり、転写マスク30は支持体10とふた20の間にセットされ、ふた20の板バネ24で転写マスク30の支持枠部をふた20の自重で押さえつける。さらに、支持体10の外枠13に設けられたねじ31で支持体10とふた20を固定し、転写マスク30を本発明の検査用マスクホルダーにセットする。

請求項（抜粋）：

支持体(10)とふた(20)からなる検査用マスクホルダーにおいて、前記支持体(10)はプレート(11)に開口部(14)と内枠(12)及び外枠(13)が設けてあり、前記ふた(20)の外枠(22)が前記支持体(10)の内枠(12)と外枠(13)との間に入るようになっていることを特徴とする検査用マスクホルダー。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  G03F 1/16 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 1/16 F ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 541 S