ウェーハ保護テープ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141382
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331968
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】加工時や搬送時におけるウェーハの破損を防止し、また、搬送時における取り扱いが容易なウェーハ保護テープの提供。【解決手段】弾性力を有する第1シートBと強度を有する第2シートDの2つのシートによってウェーハ保護テープTを構成する。ウェーハWに形成されている凹凸xは、弾性力を有する第1シートBによって吸収し、ウェーハWの自重による反りは第2シートDで保持する。これにより、加工時や搬送時におけるウェーハの破損を防止することができるとともに、搬送時におけるウェーハWの取り扱いが容易になる。

請求項（抜粋）：

平面加工装置でウェーハの一方面を加工する際に該ウェーハの他方面に貼着されるウェーハ保護テープにおいて、前記ウェーハの他方面に貼着され、該ウェーハに形成されている凹凸に倣って変形し、該凹凸を吸収可能な弾性力を有する第1シートと、前記第1のシートに貼着され、前記ウェーハの自重による反りを防止可能な強度を有する第2シートと、からなることを特徴とするウェーハ保護テープ。

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