特許

J-GLOBAL ID：200903049900129208

レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置

発明者： 富所 祐介
出願人/特許権者： 株式会社アマダエンジニアリングセンター ,  株式会社アマダ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030875
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232648
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 レーザ発振器でパルス放電させたときの電極外放電を確実に検出できるようにする。【解決手段】 電源7にパルス指令部13からパルス指令を与えて相対向した電極3,5間にパルス放電せしめてレーザビームを発振せしめるレーザ発振器1において、前記電極3,5の近傍に設けられた電極外放電センサ11に接続された同期式カウンタ19で電極外放電をカウントすると共にパルス指令部13で別に接続された計数カウンタ21で一定間隔のパルス数を計数すると共に、この一定間隔のパルス数内において、前記同期式カウント19でカウントされた電極外放電の実際のカウント数が予め設定された設定値以上になったときに電極外放電アラームとして検出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電源にパルス指令部からパルス指令を与えて相対向した電極間にパルス放電せしめてレーザビームを発振せしめるレーザ発振器において、前記電極の近傍に設けられた電極外放電センサに接続された同期式カウンタで電極外放電をカウントすると共にパルス指令部に別に接続された計数カウンタで一定間隔のパルス数を計数すると共に、この一定間隔のパルス数内において、前記同期式カウントでカウントされた電極外放電の実際のカウント数が予め設定された設定値以上になったときに電極外放電アラームとして検出することを特徴とするレーザ発振器における電極外放電検出方法。

IPC (3件)：

H01S 3/00 ,  H01S 3/0977 ,  H01S 3/134

FI (3件)：

H01S 3/00 G ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/097 E