特許

J-GLOBAL ID：200903049907182805

試料に対する精密作業を行う装置

発明者： 竹内 直之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072107
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273570
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 試料に対する精密作業を行う装置の振動を、簡素な構成で効率良く防止する。【構成】 試料ステージ10の振動を検出するステージ振動センサ32と、電子顕微鏡等の精密作業機器5の振動を検出する機器振動センサ31と、前記ステージ振動センサ32および機器振動センサ31の検出信号の差信号である検出差信号を出力する差信号出力手段35と、検出差信号が0となるように圧電体等のアクチュエータ21,22,24を作動させるアクチュエータ駆動制御装置36とを備えた電子顕微鏡等の試料に対する精密作業を行う装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とする試料に対する精密作業を行う装置、(Y01)固定された基台、(Y02)前記基台に支持されたステージ固定部材、試料受け台、および前記ステージ固定部材に対して前記試料受け台を移動させるアクチュエータにより構成される試料ステージ、(Y03)前記基台に支持され、前記試料ステージに保持された試料に対する精密作業を行う精密作業機器、(Y04)前記試料ステージの振動を検出するステージ振動センサ、(Y05)前記精密作業機器の振動を検出する機器振動センサ、(Y06)前記ステージ振動センサおよび機器振動センサの検出信号の差信号である検出差信号を出力する差信号出力手段、(Y07)前記検出差信号が0となるように前記アクチュエータを作動させるアクチュエータ駆動制御装置。

IPC (5件)：

H01J 37/20 ,  F16F 15/02 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/00 ,  G01R 33/30

FI (5件)：

H01J 37/20 A ,  F16F 15/02 A ,  G01N 23/00 ,  G01N 1/28 W ,  G01N 24/02 510 E