特許
J-GLOBAL ID：200903049913321248
角速度センサ用検出回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-129675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318754
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 デバイス出力の温度特性や寄生容量の温度特性に影響されず、優れた温度特性を保持する小型で高感度な角速度センサ用検出回路を提供すること。【解決手段】 この角速度センサ用検出回路には、一対の振動子に接続され、励振回路1及び検出用駆動回路2にそれぞれ独自に任意の交流電圧又はパルス電圧を印加する共通のスイッチトキャパシタ回路3と、スイッチトキャパシタ回路3からの出力信号を異なる2つ以上のサンプリングタイミングで保持してそれぞれサンプル信号として出力するサンプルホールド回路4と、励振回路1の励振用コンデンサCd1 ,Cd2 の電気容量の総和値とほぼ等しい電気容量値を持ち、交流電圧又はパルス電圧を励振用コンデンサCd1 ,Cd2 の位相と180度シフトさせて検出用駆動回路2から励振用コンデンサCd1 ,Cd2 に印加する補償用コンデンサCd3 とが備えられている。
請求項（抜粋）：
角速度センサにおける一対の振動子に対する対向電極間に生じる静電引力を利用して該一対の振動子を励振するための励振回路と、前記一対の振動子の振動方向と垂直な方向に生じる振動に応じて検出用電極間の静電容量が変化するのを検出することによって角速度検出を行う検出用駆動回路とを備えた角速度センサ用検出回路において、前記一対の振動子に接続され、前記励振回路及び前記検出用駆動回路にそれぞれ独自に任意の交流電圧又はパルス電圧を印加する共通のスイッチトキャパシタ回路を備えたことを特徴とする角速度センサ用検出回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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