特許
J-GLOBAL ID：200903049913373175
フィルム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215693
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045406
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】フィルムにアライメントホールを穿孔する機構を露光装置に持たせ、1つの装置でアライメントホールを穿孔して、その後、位置合わせを行い、そして回路パターンを露光できるようにする。【構成】長尺フィルムFを送りローラ61でステップ送りさせ、アライメント穿孔機構70でアライメントホールを穿孔する。そして、露光ステージ30において、レチクルRと位置合わせを行った後に、回路パターンを露光する。
請求項（抜粋）：
レチクルパターンを露光ステージ上に配置した長尺フィルムに露光するに際し、レチクル上のアライメントマークの投影像がフィルム上のアライメントホールに一致するようにレチクル、又はフィルムを吸着保持する露光ステージを、移動させる機能を持つフィルム露光装置において、前記露光ステージに、アライメントホール穿孔機構を有し、このアライメントホール穿孔機構におけるフィルムの搬送及び位置決め機構は、レチクルパターンの露光におけるフィルムの搬送及び位置決め機構と同じものであることを特徴とするフィルム露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H05K 3/00
