プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338761
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156046
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】幅方向でプラズマ処理をムラなくほぼ均一に行なうことができ、しかも、反応容器を簡単に安価に作製することができるようにする。【解決手段】筒状の反応容器1と一対の電極2、3とを備える。反応容器1にプラズマ生成用ガスを導入する。電極2、3の間に対応する位置において反応容器1内に交流電界を印加することにより、大気圧下でグロー状の放電を生じさせてプラズマ生成用ガスからプラズマPを生成する。このプラズマPを被処理物7の表面に供給する。反応容器1内に生成されたプラズマPを被処理物7に向かってジェット状に吹き出すための吹き出し口4を反応容器1に形成する。一対の電極2、3のうち少なくとも一方を反応容器1の外側に設ける。反応容器1の外側に設けた電極2、3と反応容器1の間に導電性材料からなるシート部材6を介在させる。シート部材6を反応容器1の外面に密着させて設ける。

請求項（抜粋）：

筒状の反応容器と一対の電極とを備え、反応容器に不活性ガス又は不活性ガスと反応ガスとの混合気体からなるプラズマ生成用ガスを導入すると共に電極の間に対応する位置において反応容器内に交流電界を印加することにより、大気圧下でグロー状の放電を生じさせてプラズマ生成用ガスからプラズマを生成し、このプラズマを被処理物の表面に供給するプラズマ処理装置であって、反応容器内に生成されたプラズマを被処理物に向かってジェット状に吹き出すための吹き出し口を反応容器に形成し、一対の電極のうち少なくとも一方を反応容器の外側に設け、反応容器の外側に設けた電極と反応容器の間に導電性材料からなるシート部材を介在させると共にシート部材を反応容器の外面に密着させて設けて成ることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00 , H05H 1/24 , H05H 1/46

FI (4件)：

C23F 4/00 C , H05H 1/24 , H05H 1/46 A , H01L 21/302 B

Fターム (24件)：

4K057DA01 , 4K057DA16 , 4K057DB06 , 4K057DD01 , 4K057DD08 , 4K057DK03 , 4K057DM06 , 4K057DM08 , 4K057DM09 , 4K057DM28 , 4K057DM35 , 4K057DN01 , 5F004AA01 , 5F004AA14 , 5F004BA03 , 5F004BA06 , 5F004BB13 , 5F004BB29 , 5F004BD01 , 5F004CA02 , 5F004DA22 , 5F004DA23 , 5F004DA26 , 5F004DB26

引用特許：

出願人引用 (3件)

大気圧プラズマ生成方法および装置並びに表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-169010 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭63-156533
プラズマ処理システム及びプラズマ処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-344736 出願人：松下電工株式会社

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