特許
J-GLOBAL ID：200903049916889091
プローブピンの酸化膜防止方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112296
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300778
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 ICチップの検査において、プローブピンの探針3d に対するアルミナ酸化膜の固着を防止する。【構成】 IC検査装置10の筐体5を密閉型とし、筐体5の対向する両側板5b,5c に供給口7a と排出口7b とをそれぞれ設ける。供給口7a より窒素ガス等の不活性ガスや還元ガスNを供給して筐体に充填するとともに、筐体内に存在する酸素ガスを排出口7b より排出して無酸素状態とする。各探針3d と各パッド端子2b との接触抵抗により生じた検査電流の発熱により、各探針3d に溶着したアルミニュームに対する酸化作用を、上記の無酸素状態により排除して、各探針3d に対するアルミナ酸化膜の固着を防止する。【効果】 各ICチップ2の検査の信頼性が向上するとともに、歩留まりの低下が回避され、従来の研磨方法における検査中止などの弊害が解消される。
請求項（抜粋）：
ウェハに形成されたICチップの、アルミニュームよりなる各パッド端子に対して、各プローブピンの探針をそれぞれ接触し、該ICチップのパターン配線に検査電流を供給して検査するIC検査装置において、該検査装置の筐体を密閉型とし、該筐体の対向する両側板に供給口と排出口とをそれぞれ設け、該供給口より窒素ガス等の不活性ガスや還元ガスを供給して充填するとともに、該筐体に存在する酸素ガスを該排出口より排出して無酸素状態とし、前記各探針と各パッド端子との接触抵抗により生じた検査電流の発熱により、該各探針に溶着した前記アルミニュームに対する酸化作用を、前記無酸素ガス状態により排除して、該各探針に対するアルミナ酸化膜の固着を防止することを特徴とする、プローブピンの酸化膜防止方法。
IPC (4件)：
G01R 1/06
, G01R 1/067
, G01R 1/073
, H01L 21/66
