特許
J-GLOBAL ID:200903049921543578

ヒートシンクおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 丸山 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-148649
公開番号(公開出願番号):特開2004-356135
出願日: 2003年05月27日
公開日(公表日): 2004年12月16日
要約:
【課題】一定形状の複数のフィンを一体形成可能なヒートシンクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】複数枚のセラミックシート13を積層したベース部上に離型層を形成し、そのベース部上にさらに複数枚のセラミックシート15を積層して積層体10を構成する。離型層として機能するフィルム11以外には、どのシートにも、ヒートシンクのフィン形成のための開口部を設けない構造とすることで、積層体10全体をフィン形成の前段階で均一に加圧でき、積層圧着の際に層間においてシートの積み重ねの“ずれ”が生じない。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数のフィンが一体形成されたヒートシンクの製造方法であって、 複数枚のセラミックシートを積層して形成したベース部上に前記複数のフィンの平面形状に合わせた部分を除いて離型層を形成し、前記離型層が形成された前記ベース部上にさらに複数枚のセラミックシートを積層してなる積層体全体を加圧した後、前記積層体のうち前記離型層上に形成された積層体を除去することで前記複数のフィンを前記ベース部と一体的に形成することを特徴とするヒートシンクの製造方法。
IPC (1件):
H01L23/36
FI (1件):
H01L23/36 Z
Fターム (2件):
5F036AA01 ,  5F036BB05

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