特許

J-GLOBAL ID：200903049927594379

露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 山崎 俊洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135309
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331904
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 ステージの位置計測手段の計測値に対してより厳密に補正を行なうことができるようにする。【解決手段】 移動可能なステージ2,4と、該ステージの位置を計測する複数の位置計測器5,7;6,8と、該複数の位置計測器の計測結果に影響を与える変動要因を測定する複数の変動要因測定器と、該変動要因測定器の測定結果に基づいて前記位置計測器の計測結果を補正する計測補正手段11とを備え、該複数の変動要因測定器は、該変動要因を該複数の位置計測器の各位置計測器について別個に測定するものであり、該計測補正手段は該複数の変動要因測定器の別個の測定結果に基づいて、該位置計測器のそれぞれの計測結果を別個に補正するものであることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

移動可能なステージと、該ステージの位置を計測する複数の位置計測器と、該複数の位置計測器の計測結果に影響を与える変動要因を測定する複数の変動要因測定器と、該変動要因測定器の測定結果に基づいて前記位置計測器の計測結果を補正する計測補正手段とを備え、該複数の変動要因測定器は、該変動要因を該複数の位置計測器の位置計測器について別個に測定するものであり、該計測補正手段は該複数の変動要因測定器の別個の測定結果に基づいて、該位置計測器のそれぞれの計測結果を別個に補正するものであることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (14件)：

5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC14 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DB03 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DC12 ,  5F046LA14