特許

J-GLOBAL ID：200903049930474678

スピン洗浄機とスピン洗浄方法

発明者： 林本 鉄矢
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221062
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 スピン洗浄方法に関し、ピンホール欠陥を生じない洗浄方法の実用化を目的とする。【構成】 スピンチャック2の中央部に被処理基板1が嵌合してスピンチャック2と同一面となる凹部8を有すると共に表面が耐蝕性金属よりなり、また、スピンチャック2が接地されており、また、スピンチャック2の外周部上に吐出した洗浄液が当たるようスピンチャック2の外側に扇状に散開した洗浄液ノズル5を配したスピン洗浄機を用い、洗浄液ノズル5よりエッチング液を供給して被処理基板1をエッチングし、次に、純水を供給して洗浄するに当たり、エッチング液および純水は洗浄液ノズル5より扇状に吐出してスピンチャック2の外周部の金属板に当たった後、被処理基板1に供給されることを特徴としてスピン洗浄方法を構成する。

請求項（抜粋）：

スピンチャック(2)と該スピンチャック(2)を高速回転させる駆動部とスピンチャック(2)上の被処理基板(1)に洗浄液を供給する洗浄液ノズル(4)とを少なくとも備えてなるスピン洗浄機において、スピンチャック(2)の中央部に被処理基板(1)が嵌合して該スピンチャック(2)と同一面となる凹部(8)を有すると共に表面が耐蝕性金属よりなり、また、該スピンチャック(2)が接地されており、また、該スピンチャック(2)の外周部上に吐出した洗浄液が当たるよう該スピンチャック(2)の外側に扇状に散開した洗浄液ノズル(5)を配したことを特徴とするスピン洗浄機。

IPC (5件)：

H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02 ,  G03F 1/08