特許

J-GLOBAL ID：200903049932492479

生産工程管理方法

発明者： 鶴丸 和弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300853
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130589
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 生産性の低下を抑制しつつ品質および信頼性を向上する。【構成】 各検査工程において、今回の検査結果をもって品質信頼性維持の可能性を失ったと判定される第1製品群と、今回の検査結果では後の品質信頼性維持の可能性が高いと判定される第2製品群と、今回の検査結果では後の品質信頼性維持の可能性が低いと判定される第3製品群とが分類される。第1製品群は次の生産工程への投入が停止され、第2製品群は次の検査工程で緩和条件で検査され、第3製品群は次の検査工程で厳格条件で検査される。【効果】 第2製品群は次検査工程で緩和条件で検査されるため、全製品群が同一条件で検査される場合に比べ、検査工程の作業効率が高められる。第3製品群は次検査工程で厳格条件で検査されるため、全製品群が同一条件で検査される場合に比べ、品質信頼性の低下は防止できる。

請求項（抜粋）：

各検査工程において、今回の検査結果をもって品質信頼性維持の可能性を失ったと判定される第1製品群と、今回の検査結果では後の品質信頼性維持の可能性が高いと判定される第2製品群と、今回の検査結果では後の品質信頼性維持の可能性が低いと判定される第3製品群とがそれぞれ分類され、第1製品群は次の生産工程への投入が停止され、第2製品群は次回の検査工程において緩やかな条件で検査作業が実施され、第3製品群は次回の検査工程において第2製品群よりも厳しい条件で検査作業が実施されることを特徴とする生産工程管理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/66