特許
J-GLOBAL ID：200903049952832284
ファンフィルタユニット監視制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051581
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230592
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 FFUの台数、配置、機能の追加・変更に対するフレキシビリティを確保しかつ省エネルギーを実現すること。【解決手段】 クリーンルームの天井部に取り付けられた各FFU毎にファンの始動/停止制御、状態・故障の監視を行う制御ノードが搭載されている。それぞれのノードはネットワーク配線により分散PCインタフェイスを介してホストコンピュータに接続され、FFU本体の制御ボックスとの間をケーブル接続することにより、通信でFFU制御を行う。制御ノードはソースDC電源から供給される直流電圧から使用する直流電圧に変換して供給する制御ノードDC電源を備えている。
請求項（抜粋）：
クリーンルームを所定のクリーン度に保つために設備された多数のファンフィルタユニットの運転をネットワークにより監視制御する装置であって、前記ファンフィルタユニットの運転状態及び故障状態を監視しかつファンの発/停制御を行う監視制御手段と、前記監視制御手段との間をネットワークで接続する為のネットワークインタフェース、通信処理とプログラム処理を行う処理部、増幅部、DC電源部、入出力端子を搭載した基板をケースに収納した制御ノードと、各制御ノードに直流電圧を供給する共通なソースDC電源と、前記ファンフィルタユニットに設けられ、前記制御ノードから始動/停止の運転を行う主電源回路及び制御ノードが運転及び故障の状態信号をネットワーク信号として取り出すための状態監視回路を有するユニット制御ボックスとを備え、前記制御ノードのケースを各ファンフィルタユニット本体に取付け、該制御ノードとユニット制御ボックスをコネクタ接続することを特徴とするファンフィルタユニット監視制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 C
, F24F 7/007 B
