フォトレジスト液の移送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315249
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163384
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【構成】多重管よりなる温調用配管を用いてフォトレジスト液を一定の温度に保ちながら移送する方法において、前記配管として光波長150〜300nm及び/又は300〜550nmの範囲の任意の波長における配管厚みでの吸光度が0.2以上になるように調整された透明樹脂よりなる配管を用いることを特徴とするフォトレジスト液の移送方法。【効果】本発明によれば、透明樹脂配管内のフォトレジスト液に光が照射されても変質が実質的になく、又、該配管内のフォトレジスト液の送液状態も確認できる。

請求項（抜粋）：

多重管よりなる温調用配管を用いてフォトレジスト液を一定の温度に保ちながら移送する方法において、前記配管として光波長150〜300nm及び/又は300〜550nmの範囲の任意の波長における配管厚みでの吸光度が0.2以上になるように調整された透明樹脂よりなる配管を用いることを特徴とするフォトレジスト液の移送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B01J 4/00 103 , G03F 7/16

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