特許
J-GLOBAL ID：200903049956862765
スピンコータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-256351
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096224
出願日： 1991年10月03日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明はスピンコータに関し、円形以外の形状の基板に対しても、その端部に溶剤を噴射できるようにしたスピンコータを実現することを目的とする。【構成】 スピンコート法により基板21上に薄膜を形成するスピンコータにおいて、上記基板21の回転に同期して該基板21の上方もしくは下方、もしくは上、下両方向から基板端部に向って薄膜を溶解する溶剤を連続噴射する機構を具備して成るように構成する。
請求項（抜粋）：
スピンコート法により基板(21)上に薄膜を形成するスピンコータにおいて、上記基板(21)の回転に同期して該基板(21)の上方もしくは下方もしくは上下両方向から基板端部に向って薄膜を溶解する溶剤を連続噴射する機構を具備して成ることを特徴とするスピンコータ。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
