特許
J-GLOBAL ID：200903049959168169
検査方法及び検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326224
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 不透明でない物質の表面と内部に存在する微細な欠陥等を精度よく検査する。【解決手段】 同軸落射光源30から同軸落射光を対象物に照射し、表面欠陥の像を得る。散乱光光源31を点灯して対象物に散乱光を照射し、表面欠陥や内部欠陥の像を含む画像を得る。散乱光による画像と同軸落射光による画像とを比較し、同じ欠陥の画像を散乱光による画像から除去すると、内部欠陥のみの画像が得られる。
請求項（抜粋）：
検査対象物の同一領域に、異なる照明方式で照明光を照射して複数回の観察を行ない、これらの観察結果を比較することによって検査対象物を検査することを特徴とする検査方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 650
, G01M 11/00 T
, G01M 11/00 L
