超薄膜製造装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：藤田考晴 , 上田邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312975
公開番号（公開出願番号）：特開2006-122788
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】膜厚の精度が高い超薄膜を大量に生産することができる超薄膜製造装置を提供する。【解決手段】液体を貯える容器2と、容器2内に超薄膜原料を供給する供給手段3と、供給手段3により容器2の液面に展開された水面膜を圧縮して超薄膜膜Fを形成する膜圧縮手段4と、膜圧縮手段4により形成された超薄膜Fを、液面と交差する方向へ移動する基体5に移し取る膜作製手段6と、を備える超薄膜製造装置1であって、液面の上に形成された水面膜の表面圧を測定する表面圧測定手段を備え、膜圧縮手段4が、液面に接しながら移動し、液面に展開された水面膜を圧縮する複数の圧縮部材21a,21bと、複数の圧縮部材21a,21bを個別に駆動する駆動部と、を有し、複数の圧縮部材21a,21bが、基体方向に向かって順番に駆動されるとともに、表面圧測定手段24の出力に基づいて個別に駆動制御されることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液体を貯える容器と、該容器内に少なくとも1種類の原料を含む溶媒を供給する原料供給手段と、該原料供給手段により前記容器の液面に展開された水面膜を圧縮して超薄膜を形成する膜圧縮手段と、該膜圧縮手段により形成された前記超薄膜を、液面と交差する方向へ移動する基体に移し取る膜累積手段とを備える超薄膜製造装置であって、前記液面の上に形成された前記超薄膜の表面圧を測定する表面圧測定手段を備え、前記膜圧縮手段が、液面に接しながら移動し、前記液面に展開された原料を圧縮する複数の圧縮部材と、該複数の圧縮部材を個別に駆動する駆動部と、少なくとも前記容器に貯えられた液体の液面を覆うカバーと、前記カバー内に溜まる前記溶媒などの揮発成分を排気する排気部とを有し、前記複数の圧縮部材が、前記基体方向に向かって順番に駆動されるとともに、前記表面圧測定手段の出力に基づいて個別に駆動制御されることを特徴とする超薄膜製造装置。

IPC (2件)：

B05C 3/132 , B01J 19/00

FI (2件)：

B05C3/132 , B01J19/00 M

Fターム (13件)：

4F040AA22 , 4F040AB13 , 4F040AC01 , 4F040BA23 , 4F040BA43 , 4F040CC15 , 4F040CC19 , 4F040CC20 , 4G075AA25 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EE04 , 4G075FA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2670633号公報
特許第2828230号公報

前のページに戻る