特許

J-GLOBAL ID：200903049961890327

研磨装置

発明者： 飛永 秀司
出願人/特許権者： 飛永 秀司
代理人 (1件)： 中島 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114609
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299730
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、被研磨物を隅々まで均一に、しかも確実に効率よく研磨することが出来る研磨装置を提供するものである。【構成】 架台1上に所要の研磨槽2が揺動自在に水平配設されると共に、該研磨槽2の揺動方向に沿う内周面には多数の突起5が互い違い状に稠密形成された構成よりなる。そして、所要の研磨作業時には、各突起5が所謂邪魔板的に作用して研磨材Aを不規則な乱流状に流動化せしめ、被研磨物Bの隅々まで均一に、しかも確実に研磨することが出来る。

請求項（抜粋）：

架台1上に所要の研磨槽2が揺動自在に水平配設されると共に、該研磨槽2の揺動方向に沿う内周面には多数の突起5が互い違い状に稠密形成されてなることを特徴とする研磨装置。