特許
J-GLOBAL ID：200903049964096672
液剤塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-097651
公開番号（公開出願番号）：特開平5-317776
出願日： 1991年04月26日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】塗布対象上における液材の塗布開始位置若しくは塗布停止位置を高精度に制御出来る液剤塗布装置の提供。【構成】液剤を収容した容器内の圧力を検知する圧力検知手段を設け、該圧力検知手段から発せられる圧力信号を監視することによって、容器内圧力が気体供給路が開閉手段により開若しくは閉となされた時点から予め求められている吐出に必要な圧力若しくは吐出が停止する圧力となる時点までの所要時間を測定し、該開閉手段をして上記気体供給路を開若しくは閉とせしめた時点からノズル移動手段を作動若しくは停止させるべき時点までの待ち時間としてこの所要時間を設定。【効果】容器内の液剤の残量すなわち水頭に応じて待ち時間の設定が行なわれる故、塗り始め及び塗り終りの位置を高精度に制御することが出来ると共に、塗布すべき経路の全長に亘って均一な量の液剤を塗布することが出来る。
請求項（抜粋）：
塗布されるべき液剤を保持した気密容器と、前記容器の内部空間に連通した液剤吐出用ノズルと、前記容器内に圧搾気体を供給する加圧手段と、前記加圧手段から前記容器への気体供給路を開閉せしめる開閉手段と、前記ノズルを液剤塗布対象に対して相対的に移動せしめるノズル移動手段と、前記開閉手段及び前記ノズル移動手段の作動制御をなす制御部とを含み、前記制御部は前記開閉手段をして前記気体供給路を開若しくは閉とせしめた後所定時間の経過を待って前記ノズル移動手段を作動若しくは停止せしめる液剤塗布装置であって、前記容器内の圧力に応じた圧力信号を発する圧力検知手段を有し、前記制御部は前記圧力信号に応じて前記所定時間を設定することを特徴とする液剤塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, G06F 15/46
, H01L 21/52
