特許

J-GLOBAL ID：200903049976141932

複合ガスセンサ

発明者： 翁長 一夫
出願人/特許権者： エフアイエス株式会社
代理人 (1件)： 西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169289
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356613
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】可燃性ガスや不完全燃焼ガスを低濃度から高濃度まで、精度良く検出することができる複合ガスセンサを提供することにある【解決手段】ガス検出素子1は、Pdを3重量%を添加したSnO2 からなる金属酸化物半導体からなる感ガス体2と、該感ガス体2中に埋設したコイル状のヒータ兼用電極3と、該ヒータ兼用電極3のコイルの略中心を貫通するように感ガス体2中に埋設した半導体抵抗検出用電極4とを備えており、ヒータ兼用電極3と半導体抵抗検出用電極4との間に負荷抵抗を介して直流電圧を印加して、ヒータ兼用電極3と半導体抵抗検出用電極4との間の感ガス体2の抵抗値変化によって生じる負荷抵抗の電圧を検出してガス検出を行う半導体式ガス検出と、感ガス体2上でガスが燃焼することにより生じるヒータ兼用電極3の抵抗値変化を検出することでガス検出を行う接触燃焼式ガス検出とが行える。

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体からなる感ガス体と、該感ガス体中に埋設したコイル状のヒータ兼用電極と、該ヒータ兼用電極のコイルの略中心を貫通するように感ガス体中に埋設した半導体抵抗検出用電極とを備えたガス検出素子からなり、ヒータ兼用電極と半導体抵抗検出用電極との間の抵抗値変化によるガス検出と、感ガス体上でガスが燃焼することにより生じるヒータ兼用電極の抵抗値変化によるガス検出とを同時に行うことを特徴とする複合ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/16

FI (2件)：

G01N 27/12 B ,  G01N 27/16 B

Fターム (32件)：

2G046AA02 ,  2G046AA05 ,  2G046AA11 ,  2G046BA02 ,  2G046BA03 ,  2G046BC03 ,  2G046BE02 ,  2G046BE07 ,  2G046DB06 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046DD01 ,  2G046EB02 ,  2G046EB06 ,  2G046FB02 ,  2G046FE29 ,  2G046FE39 ,  2G060AA02 ,  2G060AB03 ,  2G060AB08 ,  2G060AE19 ,  2G060AF02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG01 ,  2G060BA03 ,  2G060BB02 ,  2G060BB09 ,  2G060HA01 ,  2G060HB06 ,  2G060HC07 ,  2G060HE01 ,  2G060KA01