特許
J-GLOBAL ID:200903049984037788

ロウ付け用表面処理方法および表面処理装置並びにロウ付けシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-052470
公開番号(公開出願番号):特開平11-245024
出願日: 1998年03月04日
公開日(公表日): 1999年09月14日
要約:
【要約】【課題】 被処理物の表面処理を均一に安定して行なえるようにする。【解決手段】 被処理物22を搬送する搬送装置62の上方には、処理ガス吹出部66が設けてある。処理ガス吹出部66には、処理ガス供給源42の水蒸気供給部48とが接続してあって、下方を移動する被処理物22に処理ガスであるフッ素ガスと水蒸気とを吹き付けることができるようになっている。フッ素ガスと水蒸気とは、被処理物22の表面において反応し、HFを生成して被処理物の表面をフッ化する。
請求項(抜粋):
大気圧下において被処理物のロウ付け対象面をフッ化するロウ付け用表面処理方法において、水素原子を含まない反応性フッ素系ガスを前記被処理物に接触させる直前に、前記反応性フッ素系ガスと反応してフッ素系イオンを生成する蒸気を前記被処理物の表面に付着させることを特徴とするロウ付け用表面処理方法。
IPC (2件):
B23K 1/20 ,  B23K 31/02 310
FI (2件):
B23K 1/20 K ,  B23K 31/02 310 B

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