特許

J-GLOBAL ID：200903049984359696

加熱温度測定方法

発明者： 石井 裕満
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-306889
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160199
出願日： 1992年11月17日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】加熱された物体の加熱時における温度を高精度にかつ信頼性の高い値として測定する。【構成】Al -Ta 合金膜2を被測定基板1と一緒に加熱し、その後、前記Al-Ta 合金膜2の抵抗率を測定して、その抵抗率から加熱時における基板1の温度を求める。

請求項（抜粋）：

加熱された物体の加熱時における温度を測定する方法であって、高融点金属を含有するAl 系合金膜を被測定物体と一緒に加熱し、その後、前記Al 系合金膜の抵抗率を測定して、その抵抗率から加熱時における被測定物体の温度を求めることを特徴とする加熱温度測定方法。

IPC (3件)：

G01K 7/00 381 ,  G01K 7/18 ,  G01K 7/22