パターン検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041489
公開番号（公開出願番号）：特開平5-342308
出願日： 1993年03月02日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】セル毎の図形パターン発生時間を短縮し図形パターンの生成を高速に行える図形パターン発生装置を有するパターン検査装置を提供すること。【構成】入力された図形に関するセルデータを図形解読部2が解読し、複数の図形展開部3,8が基本図形毎に図形パターンに展開する図形パターン発生装置を有するパターン検査装置であり、それぞれの図形展開部は展開処理されたパターンデータを記憶するためのパターン記憶部4,9がそれぞれ接続され、所定のしきい値を超える超過図形を判別し所定の領域に分割して複数の各図形展開部にその処理を分配する分配制御部10を具備し、展開処理され複数の各パターン記憶部に一時的に記憶された部分的な図形パターンを所定のパターン図形に合成する論理和回路11からなる読出し部5をさらに有し、その合成されたパターンデータは出力として入力図形のスキャン動作と同期しながら読み出される。

請求項（抜粋）：

所定の入力手段と出力手段と、検査対象物のパターン図形とその検査対象物のパターンに関する参照図形データを比較するための比較手段と、前記参照図形データのデータ形式を前記検査対象物の図形データのデータ形式と一致させるための図形パターン発生装置と、前記各手段を監視制御するための中央制御手段とを具備するパターン検査装置において、前記パターン発生装置は、入力された図形情報を所定の基本図形毎に解読するための図形解読手段と、前記図形解読手段から供給された図形データをその基本図形毎の図形パターンに展開する複数の図形展開手段と、前記図形解読手段と前記図形展開手段にそれぞれ接続し、前記複数の図形展開手段の稼働状況を監視してその監視結果に基づいて当該展開処理を行わせる図形展開手段を選択して当該展開処理を分配するための分配制御手段と、それらの展開処理が終了して生成されたパターン情報を所定の図形パターンに合成する図形合成手段とを具備することを特徴とする図形パターン発生装置を有するパターン検査装置。

IPC (2件)：

G06F 15/60 370 , G06F 15/72 350

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭57-180128
特開昭58-057726
特開昭58-070532

全件表示

前のページに戻る