特許
J-GLOBAL ID:200903050011275144
光硬化性レジスト組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
朝倉 勝三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-055168
公開番号(公開出願番号):特開2002-256063
出願日: 2001年02月28日
公開日(公表日): 2002年09月11日
要約:
【要約】【課題】 i)紫外線又は可視光線照射によって完全硬化できると共に、分割照射によるタックフリー化、Bステージ化と追加照射による最終硬化とを分離でき、ii)深部硬化性に優れ、電子部品、回路材料のエレクトロマイグレーションによる故障発生率の低い、厚膜塗装及び硬化の可能な一液型光硬化性レジスト組成物を提供する。【解決手段】 一液型光硬化性レジスト組成物は、a)エポキシ樹脂、b)一般式(I)で表される光潜在性重合開始剤及びc)増感性物質からなり、用途に応じてd)無機質充填剤を含有できる。
請求項(抜粋):
a)メチロール性化合物、エチレン性不飽和化合物、複素環式化合物でなる群から選ばれる少なくとも1つのカチオン重合性有機物質0.1-95重量%、b)一般式(I)[{C5(R1)n}2mMm]l+[{B(R2)4}-]l(式中、MはFeであり;C5はシクロペンタジエニルを表し;R1はアルキル基から選ばれるシクロペンタジエニルの炭素に結合する電子供与性置換基であり;nは5であり;mは1であり;lは1であり;R2は、ハロゲン化アリール基、アリール基及び3-フルオロプロパン、ノナフルオロブチル、パーフルオロヘキシル、パーフルオロペンチル、パーフルオロオクチル、パーフルオロ-3-メチルブチル、パーフルオロ-5-メチルブチル、ヘプタフルオロプロピル、2-(パーフルオロブチル)エチル、2-(パーフルオロヘキシル)エチル、2-(パーフルオロオクチル)エチル、2-(パーフルオロ-7-メチルオクチル)エチル、2-(パーフルオロ-5-メチルヘキシル)エチル、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル、1H,1H,5H-オクタフルオロペンチル、1H-パーフルオロヘキシル、及び1,1-ジフルオロエチルでなる群から選ばれるハロゲン化アルキル基から選ばれるホウ素原子(B)に配位する配位子であり、4つのR2は同一である)で表されるイオン会合体結晶性物質でなる光潜在性重合開始剤0.01-10重量%、及びc)増感性物質0.1-10重量%を含有することを特徴とする、光硬化性レジスト組成物。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (34件):
4J036AA01
, 4J036AB01
, 4J036AB02
, 4J036AB07
, 4J036AB10
, 4J036AC17
, 4J036AD07
, 4J036AD08
, 4J036AD09
, 4J036AD15
, 4J036AD16
, 4J036AD21
, 4J036AF06
, 4J036AF07
, 4J036AF10
, 4J036AF15
, 4J036AG05
, 4J036AG06
, 4J036AH06
, 4J036AH07
, 4J036AJ05
, 4J036AJ08
, 4J036AJ15
, 4J036AJ21
, 4J036AK02
, 4J036AK17
, 4J036CD09
, 4J036FA01
, 4J036FA10
, 4J036FB10
, 4J036GA06
, 4J036HA02
, 4J036JA09
, 4J036JA10
前のページに戻る