感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119019
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065116
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】小径のフォトビアホールを高い精度で形成し得る高い解像性を有し、アルカリ水溶液により現像可能であり、耐めっき液性および耐熱性が高く、吸水性が低いと共に硬化収縮の程度が小さく、信頼性の高い導体配線が優れた密着性で形成される絶縁層を形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明の感放射線性樹脂組成物は、ポリビニルフェノールおよび重量平均分子量が2000以上のポリビニルフェノール以外のフェノール樹脂の一方または両方からなるアルカリ可溶性樹脂と、1分子内に複数の活性メチロール基を有するアミノ樹脂と、分子内にオキセタン構造を有する化合物と、数平均分子量が1000〜100000、ガラス転移点が-20°C以下の液状ゴムと、放射線重合開始剤とを含有する。

請求項（抜粋）：

下記のA成分〜E成分を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。〔A成分〕アルカリ可溶性樹脂〔B成分〕架橋剤〔C成分〕分子内に式(1)で示されるオキセタン構造を有する化合物【化1】〔D成分〕ゴム〔E成分〕放射線重合開始剤

IPC (7件)：

G03F 7/038 501 , C08K 5/15 , C08L 21/00 , C08L 71/02 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , H05K 3/46

FI (8件)：

G03F 7/038 501 , C08K 5/15 , C08L 21/00 , C08L 71/02 , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , H05K 3/46 T , H05K 3/46 E

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