特許

J-GLOBAL ID：200903050014577850

光学部品冷却方法、光学部品冷却装置及びそれを有するEUV露光装置

発明者： 神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-257722
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095993
出願日： 2002年09月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】高い光学性能を得ることのできる光学部品冷却方法を提供する。【解決手段】光学部品1に接する冷却部材2中に冷媒流路3を設け、該流路3に温度を管理した冷媒を流すことにより光学部品1を冷却する。前記冷媒流路3に、開放孔を有する弾性部材(スポンジ状部材)4を配置し、該スポンジ状部材4で冷媒流振動を吸収又は緩衝する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光学部品自身又はそれと接する冷却部材中に冷媒流路を設け、該流路に温度を管理した冷媒を流すことにより前記光学部品を冷却する方法であって、 前記冷媒流路に、開放孔を有する弾性部材(スポンジ状部材)を配置し、該スポンジ状部材で冷媒流振動を吸収又は緩衝することを特徴とする光学部品冷却方法。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 503

Fターム (6件)：

2H097BA02 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09