特許

J-GLOBAL ID：200903050015620237

光受容部材の製造方法、光受容部材、及び電子写真装置

発明者： 植田 重教 ,  橋爪 淳一郎 ,  岡村 竜次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-155179
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337474
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】 電子写真装置に用いられる光受容部材の表面の固体潤滑性を向上させ、クリーニングブレードの捲れ及びビビリを防止することにより、トナー飛散やトナー融着のない良好なクリーニング性を長期間にわたり維持することが可能な光受容部材を提供する。【解決手段】 導電性基体上に少なくとも水素原子及び/又はハロゲン原子を含有する非単結晶炭素膜からなる表面層が形成され、その表面層がダイヤモンド構造とグラファイト構造を有し、最表面側に向かってグラファイト構造が増加しているように構成された光受容部材。

請求項（抜粋）：

減圧可能な反応容器内で、高周波電力を印加するカソード電極と、該カソード電極に対向する導電性基体との間にプラズマを発生させ、少なくとも水素原子及び/又はハロゲン原子を含有する非単結晶炭素膜からなる表面層を形成する光受容部材の製造方法において、表面層積層時の温度を上昇させるか、印加電力/層形成用ガスの流量比を低下させるか、または反応容器内圧力を低下させる条件のうちの少くとも1つによって該表面層がダイヤモンド構造とグラファイト構造とを有し最表面側に向かってグラファイト構造が増加する構成にすることを特徴とする光受容部材の製造方法。

IPC (7件)：

G03G 5/08 360 ,  G03G 5/08 301 ,  G03G 5/08 303 ,  G03G 5/08 304 ,  G03G 5/08 305 ,  C23C 16/26 ,  G03G 5/082

FI (7件)：

G03G 5/08 360 ,  G03G 5/08 301 ,  G03G 5/08 303 ,  G03G 5/08 304 ,  G03G 5/08 305 ,  C23C 16/26 ,  G03G 5/082

Fターム (35件)：

2H068CA03 ,  2H068DA05 ,  2H068DA06 ,  2H068DA07 ,  2H068DA12 ,  2H068DA15 ,  2H068DA16 ,  2H068DA19 ,  2H068EA24 ,  2H068EA32 ,  2H068EA33 ,  2H068EA35 ,  2H068EA36 ,  2H068FC15 ,  4K030AA04 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA24 ,  4K030BA27 ,  4K030BA28 ,  4K030BA37 ,  4K030BA40 ,  4K030BA44 ,  4K030BB03 ,  4K030BB05 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030CA16 ,  4K030FA03 ,  4K030JA06 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA16 ,  4K030JA18 ,  4K030LA17