スロット型シャドウマスクの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-167668
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351513
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】所望する矩形状となったスロット孔および線状の貫通ブリッジを得ることの可能なスロット型シャドウマスクの製造方法を提供しようとする。【解決手段】フォトエッチング法にて、所定の配列とした複数の矩形状スロット孔と、所定のスロット孔同士を連結する貫通ブリッジとを形成したスロット型シャドウマスクを製造する方法において、レジスト膜のスロット孔を形成する部位に対応した開口部の形状を、スロット孔と貫通ブリッジとを連結させる部位に対応した辺部位を凹状に窪ませた略矩形状とし、貫通ブリッジを形成する部位に対応したレジスト膜部位にスロット孔形成用の開口部と連結しない矩形状開口部を形成したことを特徴とするスロット型シャドウマスクの製造方法。

請求項（抜粋）：

金属薄板の両面に金属薄板表面を露出した開口部を有するレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜の開口部より露出した金属薄板部位をエッチング液にて溶解除去するエッチング工程とを少なくとも有する、所定の配列とした複数の矩形状スロット孔と、所定のスロット孔同士を連結する貫通ブリッジとを形成したスロット型シャドウマスクを製造する方法において、レジスト膜の前記スロット孔を形成する部位に対応した開口部の形状を、スロット孔と貫通ブリッジとを連結させる部位に対応した辺部位を凹状に窪ませた略矩形状とし、貫通ブリッジを形成する部位に対応したレジスト膜部位に前記スロット孔形成用の開口部と連結しない矩形状開口部を形成したことを特徴とするスロット型シャドウマスクの製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/14 , C23F 1/00

FI (2件)：

H01J 9/14 G , C23F 1/00 C

Fターム (11件)：

4K057WA11 , 4K057WB02 , 4K057WC08 , 4K057WE08 , 4K057WK10 , 4K057WN03 , 5C027HH05 , 5C027HH07 , 5C027HH10 , 5C027HH11 , 5C027HH18

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭53-105963
特開昭55-159545

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