載物ステージ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-312500
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121572
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】干渉計などの高精度計測器に用いられる載物ステージで、高さが低く、安定した構造の載物ステージを提供すること。【解決手段】載物ステージ1では、水平方向のX軸に沿って移動するXステージ10の上にX軸と直交するZ軸方向に移動するZステージ20を組込んだ。Zステージ20の上にはX軸方向及びY軸方向に傾斜する傾斜ステージ30と、Z軸方向の軸心を中心にθ回転する回転ステージ50とを積み重ねて構成した。この傾斜ステージ30ではX軸方向の傾斜とY軸方向の傾斜とを行うと共に、回転ステージ50の駆動モータが前記傾斜ステージ30に設けられた開口部31A及びZステージ20内に垂下するように組込んだ。この構造により高さの低い載物ステージ1が得られた。

請求項（抜粋）：

水平方向のX軸に沿って移動するXステージと、X軸と直交するZ軸方向に移動するZステージと、X軸方向及びY軸方向に傾斜する傾斜ステージと、Z軸方向の軸心を中心にθ回転する回転ステージとが積み重ねられて構成された載物ステージにおいて、前記傾斜ステージは1つのステージで構成されて前記X軸方向の傾斜と前記Y軸方向の傾斜とを行うと共に、前記回転ステージの駆動モータが前記傾斜ステージに設けられた開口部に垂下するように組込まれていることを特徴とする載物ステージ。

IPC (3件)：

G12B 5/00 , G01B 11/00 , G01B 21/00

FI (3件)：

G12B 5/00 T , G01B 11/00 G , G01B 21/00 L

Fターム (14件)：

2F065CC00 , 2F065FF04 , 2F065FF51 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ31 , 2F065SS13 , 2F069BB40 , 2F069GG07 , 2F069MM23 , 2F069MM34 , 2F078CA08 , 2F078CB12 , 2F078CC15

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