特許

J-GLOBAL ID：200903050046877880

放射光顕微鏡システムおよび半導体装置から発せられた光の出力画像を拡大しかつ表示するための装置

発明者： ビクトリア・ジェイ・ブルース
出願人/特許権者： アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-011997
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308097
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】 改良された放射光顕微鏡システムを提供する。【構成】 放射光顕微鏡システムはさまざまな実施例において反射屈折光学の光学顕微鏡2および/またはコンピュータ自動化光学分散システム8および/または低温冷却バックシンCCDカメラ10を含む。このシステムはまた特別に適用されたソフトウェアを用いるコンピュータ制御されたデータ獲得システムを含む。

請求項（抜粋）：

放射光顕微鏡システムであって、光学サブシステムを含み、前記光学サブシステムは反射屈折光学の光学顕微鏡を含み、前記光学サブシステムは光学画像を出力し、さらに前記光学サブシステムに作動的に結合されて、フォトンがカウントされる間に波長を変化させるためのコンピュータ自動化された光学分散サブシステムと、前記光学サブシステムと前記コンピュータ自動化光学分散装置手段とに作動的に結合されて、前記光学画像を電子画像信号に変換するためのカメラサブシステムと、前記カメラサブシステムと前記コンピュータ自動化光学分散サブシステムとに作動的に結合されて、それらを制御しかつそこから得られたデータを獲得しかつ操作するための処理サブシステムと含む、システム。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-044872
  
• 特開平3-054976
  
• 特開昭64-072540