特許
J-GLOBAL ID：200903050049522005
半導体レーザチップ実装装置の実装方位調整機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302675
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】半導体レーザチップの実装に際し、半導体レーザチップからの出射光束の発光点の位置および光束の出射角度を高精度に調整できるようにする。【構成】半導体レーザチップ4を載置するチップ搭載台11はX方向,Y方向およびθ方向に移動するステージ12に取り付けられている。半導体レーザチップ4から両側に出射した光束はチップ搭載台11の両側の反射ミラー13a,13bで反射され、CCDカメラ15の受光部であるCCDエリアセンサー16に入射される。CCDエリアセンサー16による画像情報に基づいて画像処理部19は半導体レーザチップ4の発光点の位置のX方向,Y方向でのずれ量ΔX,ΔYと半導体レーザチップ4からの出射角度のθ方向でのずれ量Δθを算出し、制御部20はそのずれ量ΔX,ΔY,Δθがゼロとなるようにステージ12を制御する。
請求項（抜粋）：
半導体レーザチップの搭載台と、このチップ搭載台をX方向,Y方向およびθ方向に移動調整可能なステージと、前記チップ搭載台の両側に一定の角度をもって配置された一対の反射ミラーと、前記チップ搭載台上の半導体レーザチップの両出射面から出射され前記各反射ミラーによって反射された一対のレーザ光束を受光する受光素子と、この受光素子に対する一対のレーザ光束の入射位置に基づいて基準位置に対する前記半導体レーザチップの発光点の位置のX方向,Y方向でのずれ量と基準方向に対する前記半導体レーザチップからの出射角度のθ方向でのずれ量を算出する手段と、前記各ずれ量に基づいて前記ステージをそのずれ量がなくなるように移動させる手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザチップ実装装置の実装方位調整機構。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01B 11/26
, H01L 21/52
, H01S 3/18
