特許

J-GLOBAL ID：200903050051840251

単結晶引上げ装置用ヒートシールド

発明者： 平岡 利治
出願人/特許権者： 東洋炭素株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295464
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130584
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 ヒートシールドの特性を、より軽量、高強度で良好なハンドリング性能を実現できるものに改善することによって、単結晶引上げ装置の大型化の要請にも十分満足に応えることができるヒートシールドを提供する。【解決手段】 ヒートシールドの材質をC/C材としたものであり、さらにC/C材として望ましくはその特性上、嵩密度が1.3 g/cm3以上、曲げ強さが100MPa 以上、シャルピー衝撃強さが30kgcm/cm2以上、弾性係数が50GPa 以上、引張り強さが100MPa 以上、熱伝導率が10W/mK以下のもので構成する。

請求項（抜粋）：

単結晶引き上げに使用されるヒートシールドであって、該ヒートシールドが炭素繊維強化炭素複合材からなることを特徴とする単結晶引上げ装置用ヒートシールド。