静電チャックおよびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314442
公開番号（公開出願番号）：特開2002-190512
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】静電吸着力に関与するセラミック誘電体部分の膜厚が従来に比べ薄く、緻密で、熱伝導性、耐摩耗性、耐食性、汚染性などの諸特性に優れた静電チャックを提供する。【解決手段】予め内部歪を有する脆性材料微粒子を高速で基板表面に吹付ける。すると、基板との衝突により脆性材料微粒子は変形或いは破砕される。この変形或いは破砕によって活性な新生面が現れ、この新生面を介して結晶子同士が強硬に再結合する。

請求項（抜粋）：

導電性基板の表面に誘電体層が形成され、前記基板に電圧を印加することにより前記誘電体層を介して前記基板と被吸着物間に吸着作用を生じさせる静電チャックにおいて、前記誘電体層は多結晶の脆性材料からなるとともに前記基板の表面に直接接合され、前記誘電体層を構成する結晶は実質的に結晶配向性がなく、また前記結晶同士の界面にはガラス層からなる粒界層が実質的に存在せず、さらに前記誘電体層の一部は基板表面に食い込むアンカー部となっていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C04B 35/00 , C04B 35/495

FI (3件)：

H01L 21/68 R , C04B 35/00 H , C04B 35/00 J

Fターム (22件)：

4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA09 , 4G030AA10 , 4G030AA17 , 4G030AA22 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA47 , 4G030AA50 , 4G030AA51 , 4G030AA52 , 4G030BA09 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA38 , 5F031MA23 , 5F031NA04 , 5F031PA11 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

超微粒子成膜法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-210765 出願人：工業技術院長
特許第3348154号

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