特許

J-GLOBAL ID：200903050052548104

被洗浄体洗浄方法およびその装置

発明者： 前田 徳雄 ,  大野 正雄 ,  喜 冠南 ,  泉谷 直昭 ,  稲本 朋之
出願人/特許権者： 東邦化成株式会社 ,  ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175012
公開番号（公開出願番号）：特開2000-005714
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 洗浄液の使用量を減少させるとともに、洗浄液を入れ替えるための所要時間を短縮する。【解決手段】 第1洗浄液を第2洗浄液で入れ替えた後、第2洗浄液をオーバーフローさせながら洗浄を行い、次いで、第2洗浄液をダウンフローさせながら洗浄を行う。

請求項（抜粋）：

1つの洗浄槽(1)内に複数種類の洗浄液を順次供給して被洗浄体(23)を洗浄する被洗浄体洗浄方法であって、洗浄槽(1)内に被洗浄体(23)を収容した状態において、洗浄槽(1)に対する洗浄液の供給方向を1方向に設定して被洗浄体(23)を洗浄する処理と、洗浄槽(1)に対する洗浄液の供給方向を逆方向に設定して被洗浄体(23)を洗浄する処理とを行うことを特徴とする被洗浄体洗浄方法。

IPC (4件)：

B08B 3/10 ,  H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 651

FI (4件)：

B08B 3/10 Z ,  H01L 21/304 642 A ,  H01L 21/304 648 G ,  H01L 21/304 651 H

Fターム (7件)：

3B201AA03 ,  3B201BB02 ,  3B201BB03 ,  3B201BB93 ,  3B201BB95 ,  3B201BB99 ,  3B201CC15