特許
J-GLOBAL ID：200903050052710947
寄生容量およびスプリアス変位の補償を伴うマイクロ・エレクトロ・メカニカル・センサを使用して変位を検出する方法および回路
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-208618
公開番号（公開出願番号）：特開2003-177142
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】寄生容量およびスプリアス変位の補償を伴うマイクロ・エレクトロ・メカニカル・センサを提供する。【解決手段】固定本体3および可動マス4は、検出回路の第1の入力端子102に接続されており、第1の出力端子104および第2の出力端子105にそれぞれに接続されている少なくとも1つの第1の検出コンデンサ107および第2の検出コンデンサ108を形成し、休止共通検出容量Csを有する。第1の検出コンデンサ107と第2の検出コンデンサ108および微分増幅器124を備える第1のネガティブ・フィードバック・ループ136を閉じる段階と、共通の検出容量Csに反比例している電気駆動量Vcの変動ΔVcを生じさせるために、駆動コンデンサ121,122を介して前記微分増幅器124の少なくとも1つの入力124bに階段検出電圧Vsを供給する段階と、前記電気駆動量Vcによって前記センサ101を駆動する段階とを備える。
請求項（抜粋）：
固定本体(3)および可動マス(4)を備えるマイクロ・エレクトロ・メカニカル・センサ(101;151)を使用して変位を検出する方法であって、前記固定本体(3)および前記可動マス(4)は、少なくとも1つの第1の検出コンデンサ(107;156)と、少なくとも1つの第2の検出コンデンサ(108;157)とを形成し、且つ、休止状態において共通の検出容量(Cs)を有する方法において、前記第1および第2の検出コンデンサ(107,108;156,157)および増幅器手段(124;158)を備える第1のネガティブ・フィードバック・ループ(136;138)を閉じる段階と、前記共通の検出容量(Cs)に反比例している電気駆動量(Vc;Vfb)の変動(ΔVc;ΔVfb)を生じさせるために、容量性駆動手段(121,122;159,160)を介して前記増幅器手段(124;158)に階段検出電圧(Vs)を供給する段階と、前記電気駆動量(Vc;Vfb)によって前記センサ(101;151)を駆動する段階と、を備える方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125 V
, G01P 21/00
