板状ワークの検査方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017301
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208693
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】常に一定の背景の下で検査対象を撮像でき、検査精度を向上できるようにする。【解決手段】板状ワークの検査装置において、所定のパターンが形成されている板状のワークWを支持するステージ20と、該ステージ20に支持されているワークWの表面側に配置され、該ワークの表面に沿って走査される表面用カメラ10Aと、該カメラの走査に同期して移動する、表面側に配置された表面用反射照明12A及び裏面側に配置された表面用透過照明14Aと、前記ワークWの裏面側に配置され、該ワークの裏面に沿って走査される裏面用カメラ10Bと、該カメラの走査に同期して移動する、裏面側に配置された裏面用反射照明12B及び表面側に配置された裏面用透過照明14Bと、を備えている。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されている板状のワークの表面に沿って表面用カメラを走査して該表面の画像を撮像すると共に、該ワークの裏面に沿って裏面用カメラを走査して該裏面の画像を撮像し、得られる画像に基づいて該ワークを検査する際、前記表面用カメラの走査に同期して、表面側に配置された表面用反射照明と裏面側に配置された表面用透過照明とをそれぞれ移動させて前記表面の画像を撮像し、前記裏面用カメラの走査に同期して、裏面側に配置された裏面用反射照明と表面側に配置された裏面用透過照明とをそれぞれ移動させて前記裏面の画像を撮像することを特徴とする板状ワークの検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/84 , G01N 21/956 , H01L 23/50

FI (3件)：

G01N 21/84 E , G01N 21/956 Z , H01L 23/50 A

Fターム (15件)：

2G051AA61 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BB03 , 2G051BC06 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CD06 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 5F067AA19 , 5F067DA01 , 5F067DB09

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